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P21壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺，產品體積小巧，旋轉角度可達到7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。

產品運動示意圖

小體積、高分辨率、高精度

P21一維旋轉臺采用機構放大設計原理， 可以實現7.5mrad的旋轉， 體積小巧、結構緊湊， 尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。采用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構，無摩擦、無回差，可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

典型應用

頻率負載曲線

應用實例

P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉定位操作。

技術參數

型號：P21

運動自由度：θz

旋轉角度@120V：6mrad(~1240”)   

旋轉角度@150V：7.5mrad(~1500”)

閉環傳感器：SGS

閉/開環分辨率：0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)

閉環線性度：0.5%F.S.

閉環重復定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

運動方向剛度：1N/μm

空載諧振頻率：1.1kHz

閉/ 開環空載階躍時間：30/1.5ms

承載能力：0.1kg

靜電容量：1.8μF

材質：鋁

重量：105g