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精密、超精密加工技術(shù)在我國的應(yīng)用已不再局限于航空航天或其他應(yīng)用等少數(shù)部門，它已擴(kuò)展到日常生活與應(yīng)用中的許多領(lǐng)域，應(yīng)用規(guī)模也有很大的增長。超精密加工是實(shí)現(xiàn)納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進(jìn)給，在工件表面進(jìn)行加工。此外也可加工各種回轉(zhuǎn)表面，如內(nèi)圓柱面、內(nèi)外圓錐面，螺紋、溝槽、端面和成型面等。

芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發(fā)設(shè)計(jì)的，利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性，驅(qū)動刀具在運(yùn)動方向快速實(shí)現(xiàn)滿行程118微米微進(jìn)給，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜面形工件或結(jié)構(gòu)的精密加工，特別是適合刀具微進(jìn)給、誤差補(bǔ)償、FTS微位移工作臺等應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

型號：P93.X100

行程范圍（0~120V）：95μm

行程范圍（0~150V）：118μm

傳感器：CAP/

閉/開環(huán)分辨率：15/20/10nm

閉環(huán)線性度：0.1/0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.03/0.05%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<20μrad

推/拉力： 300/25N

運(yùn)動方向剛度：3N/μm

空載諧振頻率：0.2kHz