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P84系列壓電千分尺是宏動手動調節千分尺與電動調節壓電驅動機構相結合的運動平臺。它的宏動手調范圍為13mm，壓電驅動調節范圍為100μm。精調精度可達4nm。

特點

• X向運動，1~3維運動可選

• 手調千分尺行程 13mm，分辨率達 10µm

• 壓電精調行程 100µm，分辨率達4nm

• 壓電調節可選配傳感器

技術參數

型號：P84.X100S
運動自由度：X      

行程范圍（粗調+精調）：13mm+100μm

殼體材料：鋼、鋁

粗調行程范圍：13mm

粗調分辨率：10μm

粗調驅動方式：螺紋副（分厘卡）    

粗調靈敏度：<2μm

粗調讀數：10微米/格

螺距：0.5mm/rev.

精調行程范圍@120V：80μm

精調行程范圍@150V：100μm

精調傳感器類型：SGS

精調步進（分辨率）：7 nm, typ.

精調閉環線性度：0.1%F.S.

精調重復定位精度：0.05%F.S.

精調運動方向推力：16N

精調運動方向的剛度：1N/μm

承載能力（Z向）：500g

工作溫度范圍：-20~80°C

靜電容量：1.8μF

出線長：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO

應用舉例-擠壓/厚度檢測

對于厚度檢測應用，壓電千分尺的粗調已逐漸不能滿足測量的要求，特別是對于待測厚度非常薄，達微米甚至納米時，千分尺的步進調節就達不到精度要求。因此，在千分尺上集成壓電驅動機構，可顯著提高步進調節精度，可達納米甚至亞納米級。

可選配移動臺面

對于負載需要額外平臺來帶載的應用，可選配移動臺面，標準尺寸為65×65mm，臺面具有M4及M6螺紋孔，可供固定負載使用。