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可見光的波長一般在390nm至780nm范圍，而光學(xué)顯微技術(shù)利用的是物鏡對光的聚焦，以達(dá)到盡可能高的亮度范圍，從而獲取盡可能清晰的圖像。高分辨率顯微成像的景深一般為微米級或亞微米級，這在定位到景深范圍內(nèi)后，Z向調(diào)焦的過程將需要更高的定位精度，尤其對成像精度要求非常高的應(yīng)用，例如多光子熒光顯微鏡、光學(xué)相干斷層成像術(shù)、晶圓檢測等，都要求納米級定位精度！

用過壓電產(chǎn)品的用戶，一般都了解壓電產(chǎn)品的位移，一般在幾微米到幾百微米不等。但為了實現(xiàn)更大范圍的Z向聚焦，芯明天設(shè)計了P73.Z1000系列壓電物鏡定位器，該物鏡定位器具有1mm（=1000μm）的運動范圍，不僅滿足了大范圍調(diào)焦應(yīng)用，而且提供了納米級的定位精度！

P73.Z1000系列壓電物鏡定位器是采用PZT壓電陶瓷驅(qū)動，因此具有PZT壓電陶瓷的很多優(yōu)點，它的響應(yīng)速度快，在毫秒量級，并且具有納米級的分辨率，可提供納米級高精度的物鏡定位驅(qū)動，從而達(dá)到納米精度的聚焦。同時，采用內(nèi)置閉環(huán)反饋傳感器，又解決了PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變的問題。

P73.Z1000系列壓電物鏡定位器既吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點，同時去除了壓電陶瓷的弊端，為高分辨率顯微成像、激光聚焦等應(yīng)用提供了便捷而有力的工具！此外，P73.Z1000系列壓電物鏡定位器的安裝非常便捷，采用螺紋安裝，螺紋適配標(biāo)準(zhǔn)物鏡，也可選擇定制安裝螺紋。

P73.Z1000S技術(shù)參數(shù)

運動軸：Z向

標(biāo)稱行程范圍：800μm@120V

行程范圍：1000μm@150V

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：36/10nm

閉環(huán)線性度：0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.3%F.S.

推/拉力：20/5N

運動方向剛度：0.02N/μm

空載諧振頻率：110Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：50/25ms