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  運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環曲線  

閉環傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。

  小體積、高動態、開環閉環可選  

   結構原理  

壓電驅動俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移器）提供比音圈電機類產品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開環閉環可選，閉環傳感器包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣龋蓭лdØ15mm的鏡片實現0.8ms的階躍時間。

平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設計的優點是結構簡單、體積小巧、性價比高等。

如果角度偏轉時工作環境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅動壓電偏轉鏡。

維θx向壓電偏轉鏡 4mrad  應用  

  產品測試  

       • 圖像處理/穩定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩定  • 光學、激光掃描、通信  • 光過濾/轉換  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡