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產品分類Product categories

[詳細資料]

1.三維θxθyZ向壓電偏擺臺特性

• ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動及Z向110μm直線運動 • 閉環定位精度高 • 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應速度快

2.三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀	產品運動示意圖	閉環曲線

閉環傳感精度高

頻率負載曲線

仿真分析

P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。

P51偏轉臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進行優化，具有超高的剛度以及導向精度。

可選擇內置精密傳感器進行全閉環位置反饋，確保其具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時間為毫秒量級。

通過有限元FEA優化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術用于設計運動方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動，因為鉸鏈機構無間隙、無摩擦。

超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片

產品測試

P51壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動態高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

校準調測

震動實驗

3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺驅動方式

P51壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90^。相差輸入，并配合Z軸升降運動，再通過控制電壓的大小，對于固定的光路距離，可進行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。

應用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析

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