XP-611系列壓電納米定位臺為一維X軸或Z軸壓電平移臺，采用機構(gòu)放大設計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)X軸或Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構(gòu)無摩擦、無后坐力。可選擇閉環(huán)版本定位精度高，是一維精密定位與掃描的理想選擇。 典型應用 • 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術(shù) • 半導體技術(shù)
• 精密定位 • 微操作 技術(shù)參數(shù) 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | XP-611.X100S XP-611.X100K | XP-611.Z100S XP-611.Z100K | 單位 | 運動自由度 | X | Z | | 標稱行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 100 | 100 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <15 | <15 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | N | 運動方向剛度 | 0.3 | 0.3 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 0.28 | 0.28 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | 10 | zui大承載 | 1.2 | 1.2 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 80 | 80 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 XP-611系列壓電納米定位臺特點： • 一維X軸或Z軸 • 小體積 • 位移行程100μm • 毫秒級響應速度 • 納米級定位精度  一維X軸或Z軸平移臺
XP-611系列壓電納米定位臺，一維X或Z軸精密直線運動。  高精度、高可靠性與*性滿足工業(yè)應用需求芯明天XP-611系列定位臺優(yōu)異的設計結(jié)構(gòu)，小巧的體積，100μm的行程，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，裝配高精度傳感器，定位精度可以達到納米級，產(chǎn)品*性良好，已經(jīng)應用于工業(yè)精密自動化加工領(lǐng) 域。
體積小巧、穩(wěn)定時間短、性價比高 XP-611系列壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設計原 理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，XP-611 .X的尺寸僅為 35×35×20mm，易于與其他設備集成安裝。 該系列定位臺采用機構(gòu)放大原理，zui大位移可達 100μm，空載諧振頻率高、響應速度快，100μm的 階躍時間為0.8ms，該系列產(chǎn)品以其高可靠性，高性 價比等特點深得工業(yè)型用戶的青睞。 |
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