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    XP-63系列壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨 率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

XP-63系列壓電納米定位臺典型應用

• 干涉    • 生物技術
• 納米定位    • 微加工/精密控制

 應用實例

  采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。

XP-63系列壓電納米定位臺特點：

• 1~3維自由組合

• zui大行程68μm

• zui大承載5kg

• 重復定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應時間

1-3維平移臺

    XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式 組成XY，XZ，XYZ多種運動結構。多種規格型號可選。柔性鉸鏈采用精密線切割技術。 

體積小、剛度大、響應速度快、閉環精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺結構設計，具 有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特 點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可 以實現亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時 間僅為5ms。
XP-63X系列產品體積小巧，XP-630一維尺寸僅 為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。
閉環版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號 并反饋給閉環控制器，控制器通過PID算法對檢測到 的位置信號進行修正，從而實現納米級的精密定位。

XP-63系列壓電納米定位臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。