壓電物鏡定位器 產品特點
Z 向運動
大行程范圍
承載達 0.5kg
可選配閉環傳感器
位移與電壓曲線
線性度曲線
產品應用
聚焦顯微
激光加工
Z 向定位與掃描
表面結構分析
型號
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
單位
運動方向
Z
標稱行程范圍（0~120V）
400
μm±10%
行程范圍（0~150V）
500
傳感器類型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
閉環線性度
0.2
%F.S.
閉環重復定位精度
0.05
空載諧振頻率
150
Hz±20%
靜電容量
28.8
μF±10%
承載能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
臺體材料
鋁、鋼
注：以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在-20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
17051647888
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